| 仪器型号 | VMS-2515E | VMS-3020E | VMS-4030E | VMS-5030E | |||||
工作台 |
金属台尺寸 | 450*280 | 500*330 | 606*466 | 706-466 | ||||
| 玻璃台尺寸 | 306*196 | 350*250 | 450*350 | 550*350 | |||||
| 运动行程X.Y | 220*150 | 300*200 | 400*300 | 500*300 | |||||
| Z轴升降行程 | 150调焦 | 150调焦 | 150调焦 | 150调焦 | |||||
| X、Y、Z轴数显分辨率 | 0.5um | 0.5um | 0.5um | 0.5um | |||||
| X、Y坐标示值误差 | ≤（3+L/200）L为被测长度，单位：mm） | ||||||||
| 仪器重量 | 220 | 270 | 325 | 450 | |||||
| 外形尺寸 | 670*660*950 | 720*950*1020 | 720*950*1020 | ||||||
电机 |
三轴运动速度 | 100mm/s | |||||||
| 三轴定位精度 | 0.001mm | ||||||||
影像系统 |
摄像机 | TEO彩色1/2″CCD摄像机 | |||||||
| 变焦镜头 | 变焦镜头带同轴光变焦镜头（二选一） | ||||||||
| 变焦镜头倍率 | 0.7-4.5X | ||||||||
| 视频总倍率 | 30-190X | ||||||||
| 物方视场 | 11.1-1.7mm | ||||||||
| 电源 | AC220V/AC110V | ||||||||
| 消耗功率 | 100W | ||||||||
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